国家/地区 美国(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C23(7) C01(5) B82(3)
H01(3) B01(2) C30(2)
IPC小类 C23C(7) C01B(5) B01J(2)
B82Y(2) C30B(2) H01L(2)
IPC C23C016/02(7)
发明人
公开年 2014(4) 2015(3)
申请年 2014(7)
专利权人