国家/地区 中国(4)
IPC部 H(3)
IPC大类 H01(3)
IPC小类 H01L(3)
IPC H01L021/02(2) H01L029/16(2)
发明人 LIU M(2) LUO J(2) WANG L(2)
ZHAO C(2)
公开年 2016(4)
申请年 2015(4)
专利权人 INST MICROELECTRONICS CHINESE ACAD SCI(4)