| 国家/地区 | 中国(4) |
| IPC部 | H(3) |
| IPC大类 | H01(3) |
| IPC小类 | H01L(3) |
| IPC | H01L021/02(2) H01L029/16(2) |
| 发明人 |
LIU M(2)
LUO J(2)
WANG L(2)
ZHAO C(2) |
| 公开年 |
2016(4)
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| 申请年 |
2015(4)
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| 专利权人 |
INST MICROELECTRONICS CHINESE ACAD SCI(4)
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LUO J, ADAMSON H H, WANG L, ZHAO C, WANG G
LIU Q, LIU M, SUN H, ZHANG K, LONG S, LV H, BANERJEE W, BENAGI R
