国家/地区 中国(6)
IPC部 C(3) H(3)
IPC大类 H01(3) C14(2)
IPC小类 C14C(2) H01L(2)
IPC C14C003/04(2)
发明人 DENG L(6)
公开年 2015(5)
申请年 2015(6)
专利权人 SHANGHAI INS.(2) UNIV SHAANXI.(2)