国家/地区 欧洲专利局(EPO)(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 C23(8) C01(6) H01(6)
B21(2) B82(2)
IPC小类 C23C(8) C01B(6) H01B(3)
H01M(3) B82Y(2) H01L(2)
IPC C23C016/26(8)
发明人
公开年 2017(4) 2018(3)
申请年 2017(8)
专利权人