国家/地区 |
欧洲专利局(EPO)(4)![]() |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C01(4)
C23(4)
H01(2)
|
IPC小类 |
C01B(4)![]() |
IPC |
C23C016/44(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2021(3) |
申请年 |
2021(4)![]() |
专利权人 |
PARK G O, YOO S K, CHUNG J H, ZHENG Z, YU S, PARK G
PEPIN P, ETHRIDGE K, THOMSON C, HOLBROOK B, ESRIDGE K
OEZYILMAZ B, TOH C T, ABIDI I H, OJIYLMAZ B, TOH C, ZHUO Z, OZYILMAZ B