国家/地区 | 中国(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C23(5)![]() |
IPC小类 |
C23C(5)![]() |
IPC |
H01L021/02(3)
C23C016/02(2)
C30B025/18(2)
C30B029/40(2) |
发明人 | |
公开年 |
2022(5)![]() |
申请年 |
2021(5)![]() |
专利权人 |
GRIFFIN R M, THOMAS S, GUINEY I, DIXON S
RAO R M S, JUVAID M M, SARKAR S, VENKATESAN T
NORIYUKI M, TAKUJI M, MITSURU M, TAKAYASU O