国家/地区 中国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 C23C(5)
IPC H01L021/02(3) C23C016/02(2) C30B025/18(2)
C30B029/40(2)
发明人
公开年 2022(5)
申请年 2021(5)
专利权人