国家/地区 美国(3) 中国(2)
IPC部 B(5)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 C23C(5) B82Y(4) H01L(4)
C01B(3) H01G(3)
IPC C23C016/02(5)
发明人 ELSAYED K A M(3) MAAROUF A A(3)
公开年 2023(4)
申请年 2022(5)
专利权人 UNIV IMAM AB.(3)