国家/地区 中国(6)
IPC部 C(7)
IPC大类 C23(7)
IPC小类 C23C(7) H01L(4) H01M(3)
C30B(2)
IPC C23C014/06(7)
发明人 LI X(2) WANG D(2)
公开年 2022(7)
申请年 2022(7)
专利权人