国家/地区 |
中国(5)![]() |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C23(5)![]() |
IPC小类 |
C23C(5)![]() |
IPC |
C30B025/18(4)
H01L021/02(4)
C30B029/40(3)
C23C014/06(2) C23C014/35(2) C23C016/26(2) C30B029/02(2) C30B033/12(2) |
发明人 | |
公开年 | 2022(4) |
申请年 |
2022(5)![]() |
专利权人 |
ZHAO Y, YU X, LIU Z, NIE X, SONG Z, DENG J, HE X
HAO Y, MA P, WANG D, JIA Y, ZHANG J, WU H, NING J