国家/地区 中国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 C23C(5)
IPC C30B025/18(4) H01L021/02(4) C30B029/40(3)
C23C014/06(2) C23C014/35(2) C23C016/26(2)
C30B029/02(2) C30B033/12(2)
发明人
公开年 2022(4)
申请年 2022(5)
专利权人