国家/地区 中国(6) 印度(2)
IPC部 C(9)
IPC大类 C01(9)
IPC小类 C01B(9) G01N(5) B82Y(4)
G03F(2)
IPC C01B032/184(5) B82Y040/00(3) C01B032/198(3)
G01N027/30(2)
发明人
公开年 2023(9)
申请年 2023(9)
专利权人