国家/地区 中国(6)
IPC部 C(3) H(3)
IPC大类 H01(3) C01(2)
IPC小类 H01L(3) C01B(2)
IPC C01B031/04(2)
发明人 CHEN X(3) GUO L(3)
公开年 2016(3) 2015(2)
申请年 2015(6)
专利权人 CHINESE ACAD SCI PHYSICS INST(6)