| 国家/地区 | 中国(6) |
| IPC部 | C(3) H(3) |
| IPC大类 | H01(3) C01(2) |
| IPC小类 | H01L(3) C01B(2) |
| IPC | C01B031/04(2) |
| 发明人 | CHEN X(3) GUO L(3) |
| 公开年 | 2016(3) 2015(2) |
| 申请年 |
2015(6)
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| 专利权人 |
CHINESE ACAD SCI PHYSICS INST(6)
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LU W, GUO L, CHEN X
ZHANG Y, WANG Y, GAO H
SHAN X, HU Y, LU X, ZHOU Z
