国家/地区 美国(5)
IPC部 H(5) C(3)
IPC大类 H01(5) C01(2) C23(2)
IPC小类 H01L(5) C01B(2) C23C(2)
IPC H01L021/02(3) H01L021/20(3) H01L029/16(3)
H01L029/66(3) C01B031/04(2) C23C016/26(2)
发明人 DAVIS M A(5)
公开年 2014(4)
申请年 2014(3)  2013(2) 
专利权人 DAVIS M A(5)