| 国家/地区 |
美国(5)
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| IPC部 | H(5) C(3) |
| IPC大类 |
H01(5)
C01(2)
C23(2)
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| IPC小类 |
H01L(5)
C01B(2)
C23C(2)
|
| IPC |
H01L021/02(3)
H01L021/20(3)
H01L029/16(3)
H01L029/66(3) C01B031/04(2) C23C016/26(2) |
| 发明人 | DAVIS M A(5) |
| 公开年 | 2014(4) |
| 申请年 | 2014(3) 2013(2) |
| 专利权人 |
DAVIS M A(5)
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