国家/地区 韩国(5) 美国(5)
IPC部 H(7)
IPC大类 H01(6) C01(3) G01(2)
IPC小类 H01L(4) C01B(3) G01N(2)
IPC C01B031/04(2) H01L027/32(2) H01L029/16(2)
发明人 CHOI C G(3) CHOI H K(2) CHOI J S(2)
CHU H Y(2) CHUNG K H(2) KIM J T(2)
LEE J I(2) LIM J T(2) MOON J(2)
YU B G(2) YU Y J(2)
公开年 2016(7)
申请年 2016(4)  2014(2) 
专利权人 ELECTRONICS TELECOM RES INST(7)