| 国家/地区 |
中国(5)
|
| IPC部 |
B(3)
C(3)
H(3)
|
| IPC大类 |
B32(3)
B82(3)
C01(3)
H01(3) C03(2) C23(2) |
| IPC小类 |
B32B(3)
C01B(3)
B82Y(2)
C23C(2) H01L(2) |
| IPC |
B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2)
C01B031/04(2)
C23C016/26(2) |
| 发明人 | YAGER T A(3) |
| 公开年 |
2012(5)
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| 申请年 | 2010(3) 2011(2) |
| 专利权人 |
EMPIRE TECHNOLOGY DEV LLC(5)
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