国家/地区 中国(5)
IPC部 B(3) C(3) H(3)
IPC大类 B32(3) B82(3) C01(3)
H01(3) C03(2) C23(2)
IPC小类 B32B(3) C01B(3) B82Y(2)
C23C(2) H01L(2)
IPC B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) C01B031/04(2)
C23C016/26(2)
发明人 YAGER T A(3)
公开年 2012(5)
申请年 2010(3)  2011(2) 
专利权人 EMPIRE TECHNOLOGY DEV LLC(5)