国家/地区 日本(5)
IPC部 C(4) B(2) H(2)
IPC大类 C01(4) B01(2) C23(2)
H01(2)
IPC小类 C01B(4) B01J(2) C23C(2)
H01L(2)
IPC C01B031/02(3) C23C016/26(2) H01L021/336(2)
发明人
公开年 2013(2) 2014(2)
申请年 2012(5)
专利权人 FUJITSU LTD(5)