| 国家/地区 | 日本(5) |
| IPC部 |
C(4)
B(2)
H(2)
|
| IPC大类 |
C01(4)
B01(2)
C23(2)
H01(2) |
| IPC小类 |
C01B(4)
B01J(2)
C23C(2)
H01L(2) |
| IPC |
C01B031/02(3)
C23C016/26(2)
H01L021/336(2)
|
| 发明人 | |
| 公开年 | 2013(2) 2014(2) |
| 申请年 |
2012(5)
|
| 专利权人 |
FUJITSU LTD(5)
|
