国家/地区 日本(6) 美国(2)
IPC部 C(4) G(3) H(3)
B(2)
IPC大类 C01(4) G01(3) H01(3)
IPC小类 C01B(4) H01L(3) G01N(2)
IPC C01B032/15(3) C01B032/18(3) C01B032/182(3)
G01N027/00(2) H01L029/06(2) H01L029/16(2)
H01L029/66(2)
发明人 HARADA N(3) JIPPO H(2) SATO S(2)
YAMAGUCHI J(2)
公开年 2017(6)
申请年 2016(6)
专利权人 FUJITSU LTD(6)