| 国家/地区 | 日本(6) 美国(2) |
| IPC部 |
C(4)
G(3)
H(3)
B(2) |
| IPC大类 |
C01(4)
G01(3)
H01(3)
|
| IPC小类 |
C01B(4)
H01L(3)
G01N(2)
|
| IPC |
C01B032/15(3)
C01B032/18(3)
C01B032/182(3)
G01N027/00(2) H01L029/06(2) H01L029/16(2) H01L029/66(2) |
| 发明人 |
HARADA N(3)
JIPPO H(2)
SATO S(2)
YAMAGUCHI J(2) |
| 公开年 |
2017(6)
|
| 申请年 |
2016(6)
|
| 专利权人 |
FUJITSU LTD(6)
|
