国家/地区 日本(6) 美国(2)
IPC部 H(5) C(3)
IPC大类 H01(5) C01(3) C08(2)
IPC小类 H01L(5) C01B(3) C08G(2)
IPC H01L051/05(3) H01L051/30(3) C01B032/15(2)
C01B032/184(2) C08G061/10(2) H01L029/786(2)
H01L051/40(2)
发明人 OTOMO M(3) HAYASHI H(2) SATO S(2)
YAMADA Y(2)
公开年 2020(6)
申请年 2019(4) 
专利权人 FUJITSU LTD(6)