| 国家/地区 |
日本(4)
|
| IPC部 | C(3) H(3) |
| IPC大类 | C01(3) H01(3) |
| IPC小类 | C01B(3) H01L(3) |
| IPC |
C01B031/02(3)
C01B031/04(3)
C01B032/182(3)
H01L029/16(3) H01L029/66(3) H01L029/786(3) H01L021/02(2) H01L021/28(2) H01L021/336(2) H01L029/06(2) H01L051/05(2) H01L051/30(2) H01L051/40(2) |
| 发明人 | SATO S(3) YAMAGUCHI J(2) |
| 公开年 | 2014(2) 2015(2) |
| 申请年 |
2014(4)
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| 专利权人 |
FUJITSU LTD(4)
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SATO S, YAMADA A, YAGI K, TAKAHASHI M
