国家/地区 中国(6) 美国(3) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(3) C(3) H(3)
A(2)
IPC大类 H01(3) B82(2) C01(2)
C23(2)
IPC小类 B82Y(2) C01B(2) C23C(2)
H01L(2)
IPC B82Y040/00(2) C01B031/04(2) C23C016/02(2)
C23C016/26(2) C23C016/56(2)
发明人 GUO H(7) DENG P(2) LEI T(2)
ZHANG K(2) ZHANG Y(2)
公开年 2012(2) 2017(2)
申请年 2017(3)  2012(2) 
专利权人 GUO H(7)