国家/地区 韩国(5) 美国(2)
IPC部 H(3) C(2)
IPC大类 H01(3) C01(2)
IPC小类 H01L(3) C01B(2)
IPC H01L029/16(2) H01L029/167(2) H01L029/66(2)
发明人 HAM M H(2)
公开年 2018(6)
申请年 2017(3)  2018(2) 
专利权人 GWANGJU INST SCI TECHNOLOGY(6)