国家/地区 韩国（3） 美国（3）
IPC部 B（3） C（3） H（2）
IPC大类 B01（2） B82（2） C01（2）
C23（2） H01（2）
IPC小类 B01J（2） B82Y（2） C01B（2）
C23C（2） H01L（2）
IPC B82Y040/00（2） C01B031/04（2） H01L021/02（2）
H01L029/16（2） H01L029/786（2） H01L051/52（2）
发明人 CHO S（2） CHO S M（2） PARK C（2）
PARK C H（2） SEO S（2） SEO S A（2）
SHIN S（2） SHIN S M（2）
公开年 2017（4）
申请年 2016（2）  2017（2） 
专利权人 HANWHA TECHWIN CO LTD（4）

Graphene inspection apparatus for use in graphene check system, has data acquisition unit for acquiring heat distribution data of graphene, in which current is applied, where detection unit detects deformity occurrence of graphene.

KIM N Y, WON D K

Synthesis of graphene involves arranging substrate in inner space, supplying gas and irradiating light to inner space using auxiliary heating unit, which absorbs light emitted by main heating unit, and emits radiant heat toward substrate.

WON D, NAM W

Graphene-based laminate used in e.g. organic light emitting device, transistors, comprises substrate, graphene layer on substrate, and inorganic layer comprising fluorine-containing lithium compound, formed on graphene layer.

PARK C, CHO S, SEO S, SHIN S, PARK C H, CHO S M, SEO S A, SHIN S M

Preparing graphene-based thin-film laminate used in e.g. transistor, comprises conducting cycle having e.g. contacting surface of graphene onto substrate with non-metal precursor gas and activating surface of graphene with plasma N times.

PARK C, CHO S, SEO S, SHIN S, KIM T, KIM S, PIAO Z, SEO S A, SHEN Z, PARK C H, CHO S M, SHIN S M, KIM T K, KIM S Y