国家/地区 美国(28)
IPC部 C(26) B(24) H(17)
G(4)
IPC大类 C01(24) B82(17) H01(16)
C23(15) B01(9) B32(8)
B29(3) B41(3) H05(3)
B05(2) B44(2) C25(2)
G01(2)
IPC小类 C01B(24) B82Y(16) C23C(15)
H01B(11) B01J(9) B32B(8)
H01L(7) B82B(4) B29C(3)
B41M(3) B05D(2) B44C(2)
C23F(2) C25F(2) G01N(2)
IPC C01B031/02(20) C01B031/04(16) B82Y040/00(13)
C23C016/26(10) B82Y030/00(9) H01B001/04(9)
C01B032/186(6) C23C016/54(5) B01J023/755(4)
B32B038/10(4) B82B003/00(4) C01B032/194(4)
C23C016/46(4) H01L021/02(4) H01L029/16(4)
发明人 WON D(11) WON D K(9) CHO S(8)
YOON J(8) YOON J H(8) SONG Y I(7)
SONG Y(6) CHO S M(5) HONG B(5)
HONG B H(5) NA D(5) NA D H(5)
YUAN D(5) AHN J(4) AHN J H(4)
公开年 2012(10) 2014(5) 2011(4) 2013(3) 2017(3) 2016(2)
申请年 2011(9)  2012(8)  2013(4)  2016(3) 
专利权人 HANWHA TECHWIN CO LTD(28)

NA D H, PARK E S, RYU J C, WON D K, CHEOL R J, NA D, WON D, PARK E, RYU J, YUAN D, YOO J H, LIM Y M, HUH Y