| 国家/地区 | 日本(4) 美国(3) |
| IPC部 |
C(4)
H(4)
B(2)
|
| IPC大类 | C01(4) H01(4) |
| IPC小类 |
C01B(4)
H01L(4)
H01B(2)
|
| IPC |
C01B031/02(3)
H01L029/786(3)
H01B001/04(2)
H01L021/28(2) H01L021/336(2) H01L029/06(2) H01L029/40(2) |
| 发明人 |
OKAI M(4)
HIROOKA M(3)
HIROKA M(2)
WADA Y(2) |
| 公开年 | 2010(2) |
| 申请年 |
2010(4)
|
| 专利权人 |
HITACHI LTD(4)
|
OKAI M, HIROKA M, WADA Y, HIROOKA M
