国家/地区 日本(6) 美国(5)
IPC部 H(5) B(4) C(4)
IPC大类 H01(5) C01(4) B32(2)
B82(2)
IPC小类 H01L(5) C01B(4) B32B(2)
B82Y(2) H01B(2)
IPC H01L029/786(4) C01B031/02(3) H01L029/06(3)
B82Y040/00(2) H01B001/04(2) H01L021/20(2)
H01L021/28(2) H01L021/336(2) H01L029/16(2)
H01L029/40(2)
发明人 HIROOKA M(6)
公开年 2010(3) 2011(2)
申请年 2010(3) 
专利权人 HITACHI LTD(6)