国家/地区 中国（4） 德国（4） 美国（4） 韩国（2）
IPC部 H（4） B（2） G（2）
IPC大类 B81（2） G01（2） H01（2）
H04（2）
IPC小类 B81B（2） B81C（2） H01L（2）
H04R（2）
IPC B81B003/00（2） B81B007/02（2） B81C001/00（2）
H04R019/00（2） H04R031/00（2）
发明人 RUHL G（3） DEHE A（2） DEU A（2）
RUHR G（2）
公开年 2015（3）
申请年 2014（4）
专利权人 INFINEON TECHNOLOGIES AG（4）

Micro electromechanical system (MEMS) device e.g. MEMS microphone has membrane that is extended over cavity of support and is partially reinforced by graphene.

MASSONER J, MASONE J

Electrical device e.g. photodetector, has multi-layer graphene structure for laterally contacting single-layer graphene part, and graphite part in contact with surface of multi-layer graphene structure.

RUHL G, FOERG R

Hall sensor structure, has carrier layer provided with side part, and seed layer whose part is removed between carrier layer and graphene layer to form graphene structure of graphene layer, where seed layer is formed on side part.

DEHE A, ECKINGER M, KOLB S, RUHL G, DEU A, RUHR G, IKEGINGER M

MEMS acoustic transducer, has dielectric spacer arranged on back plate unit between adjacent conductive perforated back plate portions, and graphene membranes supported by dielectric spacer and extended over perforated back plate portions.

DEHE A, RUHL G, DEU A, RUHR G