| 国家/地区 |
中国(6)
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| IPC部 | H(4) C(2) |
| IPC大类 | H01(4) C01(2) |
| IPC小类 | H01L(4) C01B(2) |
| IPC | H01L021/336(2) H01L029/16(2) |
| 发明人 |
JIN Z(4)
PENG S(4)
SHI J(4)
ZHANG D(4) HUANG X(3) YAO Y(3) |
| 公开年 | 2017(5) |
| 申请年 |
2017(6)
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| 专利权人 |
INST MICROELECTRONICS CHINESE ACAD SCI(6)
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JIA R, SUN H, TAO K, JIANG S
ZHANG D, JIN Z, SHI J, PENG S, HUANG X, YAO Y
JIN Z, YAO Y, HUANG X, SHI J, PENG S, ZHANG D
PENG S, JIN Z, ZHANG D, SHI J
JIN Z, HUANG X, YAO Y, PENG S, SHI J, ZHANG D
