国家/地区 世界知识产权组织(4)
IPC部 B(3) H(3)
IPC大类 B82(3) H01(3)
IPC小类 B82Y(3) H01L(2)
IPC B82Y040/00(3) H01L021/02(2) H01L021/36(2)
H01L029/06(2) H01L033/00(2) H01L033/02(2)
H01L033/12(2)
发明人 KIM S(4) KIM S H(3) AN S(2)
AN S J(2) LEE D(2) LEE D G(2)
公开年 2012(2)
申请年 2011(2) 
专利权人 KIM S(4)

KIM S, HANAUER M, BERNER U, SAUTER U, CRAIG N, JOHNSTON C, TUFFILE C