国家/地区 韩国(7)
IPC部 B(5) C(5) H(4)
IPC大类 B01(5) C01(5) C23(5)
H01(4)
IPC小类 B01J(5) C01B(5) C23C(5)
H01L(4)
IPC B01J019/08(5) C01B031/02(5) C23C016/26(5)
H01L021/336(3) H01L029/78(3) H01L021/027(2)
H01L021/268(2)
发明人 CHOI I S(7)
公开年 2012(5) 2013(2)
申请年 2011(5)  2010(2) 
专利权人 KOREA ADV INST SCI TECHNOLOGY(7)