国家/地区 韩国(6) 美国(5) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(6) H(6) B(3)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6)
IPC C23C016/26(5) C01B031/02(4) B05D005/12(2)
B32B009/00(2) B82Y040/00(2) C01B031/04(2)
C23C016/06(2) C23C016/44(2) H01B001/04(2)
H01L021/00(2) H01L021/02(2)
发明人 CHO B J(2) JEON S(2) KIM S O(2)
LEE D H(2) LEE J(2) MUN J H(2)
公开年 2012(2) 2014(2)
申请年 2013(3) 
专利权人 KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(6)