| 国家/地区 | 韩国(13) 美国(2) |
| IPC部 |
C(7)
H(6)
B(3)
|
| IPC大类 |
H01(6)
C01(3)
C23(3)
B01(2) B82(2) |
| IPC小类 |
C01B(3)
C23C(3)
H01L(3)
B01J(2) B82B(2) H01M(2) |
| IPC |
C01B031/02(3)
B82B003/00(2)
C23C016/44(2)
C23C016/455(2) |
| 发明人 |
SEO T S(4)
CHO B J(2)
HA H D(2)
HAN D J(2) KIM D(2) MUN J H(2) |
| 公开年 |
2014(13)
|
| 申请年 |
2013(13)
|
| 专利权人 |
KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(13)
|
HA H D, SEO T S
CHOI S J, KIM D, LEE S J
AHN C W, KANG I S, SHIN Y H, YOO K
JUNG Y H, KIM D K, LIM C H
