国家/地区 韩国(14) 美国(3)
IPC部 C(14)
IPC大类 C01(9) B01(5) B82(5)
H01(4) C23(3)
IPC小类 C01B(9) B01J(5) B82B(5)
C23C(3) H01L(3)
IPC C01B031/02(9) B82B003/00(5) B01J019/10(4)
B01J019/12(3) B82B001/00(3) C01B031/04(2)
C23C016/44(2) C23C016/455(2)
发明人 SEO T S(4) OH I K(3) CHO B J(2)
DOO K I(2) HA H D(2) HAN D J(2)
JIN C S(2) MUN J H(2)
公开年 2014(14)
申请年 2013(7)  2012(6) 
专利权人 KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(14)