国家/地区 韩国(6) 美国(2)
IPC部 H(5) C(2)
IPC大类 H01(5) C01(2)
IPC小类 H01L(5) C01B(2)
IPC C01B032/184(2) H01L031/0224(2) H01L045/00(2)
发明人 CHOI S Y(6)
公开年 2020(2) 2021(2)
申请年 2018(2)  2020(2) 
专利权人 KOREA ADVANCED SCI TECHNOLOGY INST(6)