| 国家/地区 | 韩国(5) |
| IPC部 | C(3) H(2) |
| IPC大类 | C23(2) H01(2) |
| IPC小类 | C23C(2) |
| IPC | C23C016/26(2) C23C016/455(2) |
| 发明人 |
KIMHYUNGKEUN(4)
CHO S M(2)
KIM K S(2)
LEE G H(2) |
| 公开年 | 2020(4) |
| 申请年 |
2018(5)
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| 专利权人 |
KOREA ELECTRONICS TECHNOLOGY INST(5)
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KIMHYUNGKEUN, CHO S M, KIM K S
KIMHYUNGKEUN, CHO S M, KIM K S
