国家/地区 韩国(5)
IPC部 C(3) H(2)
IPC大类 C23(2) H01(2)
IPC小类 C23C(2)
IPC C23C016/26(2) C23C016/455(2)
发明人 KIMHYUNGKEUN(4) CHO S M(2) KIM K S(2)
LEE G H(2)
公开年 2020(4)
申请年 2018(5)
专利权人 KOREA ELECTRONICS TECHNOLOGY INST(5)