国家/地区 韩国(5) 欧洲专利局(EPO)(2) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(5) G(3) B(2)
H(2)
IPC大类 C01(3) G03(3) B01(2)
C23(2) H05(2)
IPC小类 C01B(3) G03F(3) B01J(2)
C23C(2) H05K(2)
IPC C01B032/184(3) G03F001/62(3) C01B032/182(2)
C23C018/34(2) G03F001/22(2)
发明人 KIMHYUNGKEUN(3) KIM H K(2) KIM H M(2)
KIM H Y(2) KIM S G(2) LEE G H(2)
MI K H(2)
公开年 2021(4)
申请年 2020(5)
专利权人 KOREA ELECTRONICS TECHNOLOGY INST(5)