国家/地区 韩国(5) 美国(3) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 H01(5)
IPC小类 C01B(4) H01L(4)
IPC C01B031/02(3) H01L051/50(2)
发明人
公开年 2013(3)
申请年 2012(5)
专利权人 KOREA INST SCI TECHNOLOGY(5)