国家/地区 韩国(6)
IPC部 C(6) H(3)
IPC大类 C01(4) H01(3) C23(2)
C25(2)
IPC小类 C01B(4) C23C(2) C25D(2)
H01L(2)
IPC C01B031/04(2) C01B032/182(2) C23C016/26(2)
发明人 BAE S(6)
公开年 2018(3) 2016(2)
申请年 2016(3)  2015(2) 
专利权人 KOREA INST SCI TECHNOLOGY(6)