国家/地区 韩国(5)
IPC部 C(5) H(4)
IPC大类 C01(5) H01(3) H05(2)
IPC小类 C01B(5) H01L(2)
IPC C01B031/04(3) C01B031/02(2) H01L051/50(2)
发明人 KIM Y H(5)
公开年 2014(2)
申请年 2015(2) 
专利权人 KOREA INST SCI TECHNOLOGY(5)