国家/地区 韩国(13) 欧洲专利局(EPO)(2) 美国(2)
IPC部 C(13) B(9) H(3)
IPC大类 C01(13) B01(7) C23(3)
H01(3) B82(2)
IPC小类 C01B(13) B01J(7) C23C(3)
H01L(2)
IPC C01B031/02(13) B01J019/08(4) B01J019/18(2)
C01B031/00(2) C01B031/04(2) C23C016/26(2)
发明人 SEO B(13)
公开年 2013(13)
申请年 2012(11)  2013(2) 
专利权人 LG ELECTRONICS INC(13)