国家/地区 韩国(9) 世界知识产权组织(5)
IPC部 G(5) C(4) H(3)
B(2)
IPC大类 G01(4) C23(3) H01(3)
C01(2)
IPC小类 G01N(4) C23C(3) C01B(2)
H01L(2)
IPC G01N027/414(4) G01N027/30(3) C01B032/194(2)
C23C016/26(2) C23C016/455(2)
发明人 CHO S M(8) KIM K S(6) CHO M(5)
OHHONGGI(5) CHO M G(4) OH H G(4)
SONG K S(3) KIMHYUNGKEUN(2)
公开年 2022(3) 2020(2) 2023(2)
申请年 2021(4)  2018(3)  2020(2) 
专利权人 MCK TECH CO LTD(9)