国家/地区 日本(7)
IPC部 B(4) C(4) H(4)
G(3)
IPC大类 C01(4) B32(3) H01(3)
H05(3) G01(2)
IPC小类 C01B(4) B32B(3) H05B(3)
H01L(2)
IPC B32B009/00(3) C01B032/194(3) C01B032/184(2)
发明人 OKIKAWA Y(7)
公开年 2021(3) 2014(2)
申请年 2013(2)  2019(2) 
专利权人 NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(7)