国家/地区 日本(4) 美国(4) 台湾(3) 世界知识产权组织(3)
IPC部 H(4) C(3)
IPC大类 H01(4) C01(3)
IPC小类 H01L(4) C01B(3)
IPC C01B031/02(3) C01B032/182(3) H01L029/06(3)
H01L029/16(3) H01L029/66(3) H01L029/786(3)
C01B031/04(2) H01L021/02(2) H01L021/20(2)
H01L021/28(2) H01L021/3205(2) H01L021/336(2)
H01L021/768(2) H01L023/532(2) H01L051/05(2)
发明人 SATO S(4)
公开年 2014(3)
申请年 2014(3) 
专利权人 NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(4)