| 国家/地区 | 日本(6) 世界知识产权组织(3) 美国(2) |
| IPC部 |
C(6)
H(4)
B(2)
|
| IPC大类 |
C01(6)
|
| IPC小类 |
C01B(6)
C23C(2)
H01B(2)
H01L(2) |
| IPC |
C01B032/15(6)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2015(2) |
| 申请年 | 2013(2) 2015(2) |
| 专利权人 |
NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(6)
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MATSUSAWA Y, KOTOKU H
OKIGAWA YUKI, MIZUTANI WATARU, ISHIHARA MASATOU, HASEGAWA MASATAKA
SHIOYAMA H, SAKURAI H, XU Q, KIUCHI M, KIMURA Y, MU C
