国家/地区 日本(6) 世界知识产权组织(3) 美国(2)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6) H01(4) C23(2)
IPC小类 C01B(6) C23C(2) H01B(2)
H01L(2)
IPC C01B032/15(6)
发明人
公开年 2015(2)
申请年 2013(2)  2015(2) 
专利权人 NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(6)