| 国家/地区 |
欧洲专利局(EPO)(4)
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| IPC部 |
G(4)
H(4)
B(2)
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| IPC大类 | G01(4) H01(4) |
| IPC小类 | G01J(3) H01L(3) |
| IPC |
G01J001/02(2)
H01L031/0232(2)
H01L031/0352(2)
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| 发明人 | COLLI A(2) |
| 公开年 | 2016(2) |
| 申请年 | 2015(2) |
| 专利权人 |
NOKIA TECHNOLOGIES OY(4)
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