国家/地区 欧洲专利局(EPO)(4)
IPC部 G(4) H(4) B(2)
IPC大类 G01(4) H01(4)
IPC小类 G01J(3) H01L(3)
IPC G01J001/02(2) H01L031/0232(2) H01L031/0352(2)
发明人 COLLI A(2)
公开年 2016(2)
申请年 2015(2) 
专利权人 NOKIA TECHNOLOGIES OY(4)