国家/地区 英国(4) 世界知识产权组织(4) 台湾(2)
IPC部 H(4) C(3)
IPC大类 H01(4) C01(2) C23(2)
IPC小类 H01L(4) C01B(2) C23C(2)
IPC C01B032/182(2) C23C016/02(2) C23C016/26(2)
C23C016/455(2) H01L021/02(2) H01L021/20(2)
H01L029/16(2)
发明人 KAINTH J(5)
公开年 2022(3) 2023(2)
申请年 2022(3)  2021(2) 
专利权人 PARAGRAF LTD(5)