国家/地区 韩国(7) 美国(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 C(7)
IPC大类 C23(7) C01(4) B82(2)
H01(2)
IPC小类 C23C(7) C01B(4) B82Y(2)
H01L(2)
IPC C23C016/26(7)
发明人 CHO K W(4) CHO K(2) HWANG C C(2)
LEE E(2) LEE H C(2) YOO M S(2)
公开年 2012(2) 2020(2)
申请年 2019(3)  2011(2)  2018(2) 
专利权人 POSTECH ACADIND FOUND(7)

HWANG C C, JUNG Y G, HWANG H N, JEONG J I, YANG J H, JUNG Y, JEONG J, YANG J, HWANG H, HWANG C, GUK H C, IN J J, HUN Y J, GYUN J Y, NA H H