| 国家/地区 | 中国(5) |
| IPC部 | H(3) C(2) |
| IPC大类 | H01(3) C01(2) |
| IPC小类 | H01L(3) C01B(2) |
| IPC | C01B031/04(2) H01L021/28(2) |
| 发明人 |
XIE X(5)
WANG H(3)
DING G(2)
JIANG M(2) LIU X(2) XIE H(2) ZHANG Y(2) |
| 公开年 |
2013(5)
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| 申请年 |
2012(5)
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| 专利权人 |
SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(5)
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DING G, JIANG M, LI X, SUN J, WU T, XIE X
KANG X, LIU X, SUN Q, WANG H, XIE H, XIE X
CHEN Z, LIU X, WANG H, XIE H, XIE X, YU G, ZHANG Y
