国家/地区 中国(5)
IPC部 H(3) C(2)
IPC大类 H01(3) C01(2)
IPC小类 H01L(3) C01B(2)
IPC C01B031/04(2) H01L021/28(2)
发明人 XIE X(5) WANG H(3) DING G(2)
JIANG M(2) LIU X(2) XIE H(2)
ZHANG Y(2)
公开年 2013(5)
申请年 2012(5)
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(5)