国家/地区 中国(7)
IPC部 C(4) H(3)
IPC大类 C01(4) H01(3)
IPC小类 C01B(4) H01L(3)
IPC C01B031/04(4) H01L021/336(3) H01L021/28(2)
发明人 JIANG M(7)
公开年 2014(6)
申请年 2014(7)
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(7)