| 国家/地区 | 中国(7) |
| IPC部 | C(6) |
| IPC大类 |
C23(3)
C01(2)
C03(2)
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| IPC小类 | C23C(3) C01B(2) |
| IPC | C23C016/26(2) |
| 发明人 |
CHEN Z(7)
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| 公开年 | 2017(6) |
| 申请年 |
2016(7)
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| 专利权人 |
SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(7)
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ZHANG Y, YU G, CHEN Z, SUI Y, GE X, DENG R, LIANG Y, HU S
CHEN Z, YU G, ZHANG Y, SUI Y, GE X, HU S, LIANG Y
YU G, ZHANG Y, SUI Y, CHEN Z, DENG R, GE X, LIANG Y, HU S
ZHANG Y, YU G, CHEN Z, SUI Y, GE X, DENG R, LIANG Y, HU S
YU G, WU T, XIE X, SHI Z, CHEN J, ZHANG Y, SUI Y, CHEN Z
ZHANG Y, YU G, SUI Y, CHEN Z, DENG R, GE X, LIANG Y, HU S
