国家/地区 中国(7)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(3) C01(2) C03(2)
IPC小类 C23C(3) C01B(2)
IPC C23C016/26(2)
发明人 CHEN Z(7)
公开年 2017(6)
申请年 2016(7)
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(7)