国家/地区 中国(7)
IPC部 C(4) H(3)
IPC大类 H01(3) C01(2) C23(2)
IPC小类 C01B(2) C23C(2) H01L(2)
IPC C01B032/194(2) C23C014/18(2) C23C014/30(2)
C23C014/35(2) C23C014/48(2) C23C014/58(2)
C23C016/26(2) C23C028/00(2)
发明人 DI Z(5) XUE Z(5) ZHANG M(3)
DING G(2) DONG L(2) GAO M(2)
HAN X(2) ZHENG P(2)
公开年 2018(7)
申请年 2018(7)
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(7)