| 国家/地区 | 中国(7) |
| IPC部 | C(4) H(3) |
| IPC大类 |
H01(3)
C01(2)
C23(2)
|
| IPC小类 |
C01B(2)
C23C(2)
H01L(2)
|
| IPC |
C01B032/194(2)
C23C014/18(2)
C23C014/30(2)
C23C014/35(2) C23C014/48(2) C23C014/58(2) C23C016/26(2) C23C028/00(2) |
| 发明人 |
DI Z(5)
XUE Z(5)
ZHANG M(3)
DING G(2) DONG L(2) GAO M(2) HAN X(2) ZHENG P(2) |
| 公开年 | 2018(7) |
| 申请年 |
2018(7)
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| 专利权人 |
SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(7)
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DI Z, ZHENG P, DONG L, XUE Z
DI Z, ZHENG P, DONG L, XUE Z
DI Z, MA Z, XUE Z, ZHANG M, MEI Y
ZHANG M, GAO M, HAN X, JIA P, XUE Z, DI Z
ZHANG M, GAO M, HAN X, XUE Z, DI Z
TIAN S, XIE X, DING G, XIA B
